國立中正大學 光電奈米結構及元件實驗室NATIONAL CHUNG CHENG UNIVERSITY
PHOTONICS NANOSTRUCTURES AND DEVICES LAB.
AFM, Hitachi High Tech/SPA 400
原子力顯微鏡
技術人員：鄭悅彤 (05)2720411#23340
E-mail: joyce840819@gmail.com
指導教授 ：機械系 張國恩教授 (05)2720411#33324
E-mail: imegec@ccu.edu.tw
儀器概述
原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope)探針對樣品表面的狀況，依樣品需求選擇不同操作模式下進行掃描。此台操作模式通常使用輕敲模式(tapping mode)，利用探針輕敲樣品表面所造成的凡得瓦力來進行回饋，同時會透過共振頻率的影響造成振幅的變化，來掃描出樣品起伏的高低，提供奈米材料表面形貌、表面粗糙度、尺度、電性、等分析。
儀器規格
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樣品尺寸：最大至直徑 35 mm、厚度 5 mm
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樣品台最大位移行程：XY 軸 ±2.5 mm、Z 軸10 mm
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雷射光槓桿偵測：波長635 nm、最大輸出功率40 μW
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掃描器最大行程：XY 軸20 μm、Z 軸~1 μm（下針後約±600nm 的伸縮幅度）
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掃描器驅動電壓：最高±200V
服務項目
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材料表面粗糙度檢測
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2D/3D材料表面形貌
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奈米級縱深分析及尺寸量測
取樣應注意事項
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樣品具有水分(液狀)、粉狀、毒性、腐蝕性、揮發性，恕不服務。
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應先清洗以免造成污染。
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樣品尺寸需符合規定
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若樣品表面結構開口太小，可能會導致探針無法量測到底部或無法下針，需要實際測試才能知道是否可以分析
本實驗室備用二種原廠探針，若須購買，價格為
一般探針: 1150元/支 (型號:SI-DF40P)
1250 元/支 (型號:SI-DF20P2)
收費標準
校內
校外
廠商
備註
500元/時
1000元/時
2000元/時
不含探針費用，探針費用請致電洽詢管理者
注意事項:
1. 自行操作上述各項儀器者，免收取儀器代工費用，僅收取儀器使用費。
2. 無法自行操作上述各項儀器者，需收取代工費用250元/時和儀器使用費。
3. 系上、機械系及奈米中心之儀器收費為校內收費之7折
4. 數據存儲請自備光碟，如需空白光碟每片10元
5. 使用者需自備可使用於此儀器之探針。
n.本實驗室備用二種原廠探針，若須購買，價格為
一般探針: 1150元/支 (型號:SI-DF40P)
1250 元/支 (型號:SI-DF20P2)
n.探針規格如下:
探針型號
規格內容
SI-DF40P
- 探針懸臂彈性係數：25~35 N/m
- 探針懸臂共振頻率：230~300 kHz
- 探針材質：SI
- 抗靜電材質：具備低阻抗0.01~0.025 Ohm·cm 以利靜電消除
- 探針針尖半徑：<7nm
- 懸臂反射鍍層：Al
- 探針角錐設計：最新世代鳥嘴型
SI-DF20P2
- 探針懸臂彈性係數：10~15 N/m
- 探針懸臂共振頻率：110~170 kHz
- 探針材質：SI
- 抗靜電材質：具備低阻抗0.01~0.025 Ohm·cm 以利靜電消除
- 探針針尖半徑：<7nm
- 懸臂反射鍍層：Al
- 探針角錐設計：最新世代鳥嘴型
- 可量較小孔徑~150 nm
預約注意事項
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首次使用本儀器，請於預約前與技術人員接洽。
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使用本儀器，請於預約前先聯絡，並填寫申請表格。
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若因試片處理不當或儀器操作不當造成機台損壞或污染，須負賠償責任，賠償費用由原廠評估。
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預約者請在進行實驗當天，攜帶申請表格。
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實驗資料僅能以光碟片存取。
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自行操作儀器，探針抬升後才可以移動工作平台。
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量測過程勿搖晃機台。
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作圖前皆需先抬針。
放置地點
國立中正大學機械系實習工廠303室。
服務時間
每周開放代工時間為：週三10:00-17:00。