top of page
國立中正大學 光電奈米結構及元件實驗室NATIONAL CHUNG CHENG UNIVERSITY
PHOTONICS NANOSTRUCTURES AND DEVICES LAB.
α-step, KLA Tencor/Alpha step D-300
薄膜厚度輪廓測量儀
技術人員：許瓏議 (05)2720411#23340
E-mail: joyce840819@gmail.com
指導教授 ：機械系 張國恩教授 (05)2720411#33324
E-mail: imegec@ccu.edu.tw
儀器概述
藉由探針掃描試片表面之高低差異，利用感測器記錄針尖垂直運動訊號，經轉換與運算繪製剖面圖，進而得知膜厚與表面粗糙度。
儀器規格
-
探針: 2 μm 60 deg / 5 μm 60 deg
-
探針掃描速度:0.01 mm/s~0.4 mm/s
-
樣品載台:直徑14 cm手動載台，可360度轉動
-
最大掃描高度:1000μm
-
最大掃描長度:30mm
服務項目
可由階差量測薄膜厚度或深度
取樣應注意事項
-
樣品不可具有水分、毒性、腐蝕性、揮發性。
-
試片尺寸直徑最大不超過8 cm、厚度2 cm。
收費標準
校內
校外
廠商
備註
400元/時
600元/時
1200元/時
注意事項:
1. 自行操作上述各項儀器者，免收取儀器代工費用，僅收取儀器使用費。
2. 無法自行操作上述各項儀器者，需收取代工費用250元/時和儀器使用費。
3. 系上、機械系及奈米中心之儀器收費為校內收費之7折
4. 數據存儲請自備光碟，如需空白光碟每片10元
預約注意事項
-
使用本儀器，請於預約前先聯絡，並填寫申請表格。
-
若因試片處理不當或儀器操作不當造成機台損壞或污染，須負賠償責任，賠償費用由原廠評估。
-
探針抬升後，才可以移動工作平台。
-
量測過程勿搖晃機台。
-
試片換區域時皆需先抬針。
-
自行操作上述各項儀器者，免收取儀器代工費用，僅收取儀器使用費。
-
無法自行操作上述各項儀器者，需收取代工費用250元/時和儀器使用費。
-
系上、機械系及奈米中心之儀器收費為校內收費之7折。
-
數據存儲請自備光碟，如需空白光碟每片10元。
放置地點
國立中正大學機械系實習工廠310室。
服務時間
每周開放代工時間為：週三10:00-17:00。
儀器預約單
bottom of page