top of page

α-step, KLA Tencor/Alpha step D-300
薄膜厚度輪廓測量儀 

技術人員：許瓏議 (05)2720411#23340
E-mail: joyce840819@gmail.com
指導教授 ：機械系 張國恩教授 (05)2720411#33324
E-mail: imegec@ccu.edu.tw
376850311.png
儀器概述

藉由探針掃描試片表面之高低差異，利用感測器記錄針尖垂直運動訊號，經轉換與運算繪製剖面圖，進而得知膜厚與表面粗糙度。

儀器規格

  1. 探針: 2 μm 60 deg / 5 μm 60 deg

  2. 探針掃描速度:0.01 mm/s~0.4 mm/s

  3. 樣品載台:直徑14 cm手動載台，可360度轉動

  4. 最大掃描高度:1000μm

  5. 最大掃描長度:30mm

​服務項目

可由階差量測薄膜厚度或深度

 取樣應注意事項

  1. 樣品不可具有水分、毒性、腐蝕性、揮發性。

  2. 試片尺寸直徑最大不超過8 cm、厚度2 cm。

​收費標準

校內

校外

廠商

​備註

400元/時

600元/時

1200元/時

注意事項:

1. 自行操作上述各項儀器者，免收取儀器代工費用，僅收取儀器使用費。

2. 無法自行操作上述各項儀器者，需收取代工費用250元/時和儀器使用費。

3. 系上、機械系及奈米中心之儀器收費為校內收費之7折

4. 數據存儲請自備光碟，如需空白光碟每片10元

預約注意事項

  1. 使用本儀器，請於預約前先聯絡，並填寫申請表格。

  2. 若因試片處理不當或儀器操作不當造成機台損壞或污染，須負賠償責任，賠償費用由原廠評估。

  3. 探針抬升後，才可以移動工作平台。

  4. 量測過程勿搖晃機台。

  5. 試片換區域時皆需先抬針。

  6. 自行操作上述各項儀器者，免收取儀器代工費用，僅收取儀器使用費。

  7. 無法自行操作上述各項儀器者，需收取代工費用250元/時和儀器使用費。

  8. 系上、機械系及奈米中心之儀器收費為校內收費之7折。

  9. 數據存儲請自備光碟，如需空白光碟每片10元。

放置地點

國立中正大學機械系實習工廠310室。

服務時間

每周開放代工時間為：週三10:00-17:00。

儀器預約單

國立中正大學光電奈米結構及元件實驗室量測預約申請單(LAB 307 Equipment Reserving Form)。

bottom of page